Микроскопы серии Hitachi SU8000 конструктивно выполнены в "semi-in-lens" дизайне, источником электронов служит электронная пушка с холодным полевым катодом. Это сочетание позволяет исследовать большие образцы и добиваться при этом разрешения 1,0 нм. Благодаря использованию холодного источника электронов, при уменьшении ускоряющего напряжения, разрешение снижается незначительно. Дополнительный детектор позволяет получить контраст по составу поверхности. Благодаря улучшенному детектированию сигнала может отображаться самый верхний слой поверхности. Устранение заряда позволяет наблюдать непроводящие образцы. Широкий монитр (24,1 дюйма, с разрешением 192-х1200) для более удобного наблюдения и управления.