Микроскоп SU6600 продолжает линейку аналитических сканирующих микроскопов высокого разрешения Hitachi. В нем установлена новая электронная пушка с термополевым катодом Шоттки, которая способна создать ток зонда более 200 нА, обеспечивающий быструю и надежную работу аналитических приставок, в том числе EDX, WDX и EBSD.

Важной особенностью этого прибора является его способность работать при неглубоком вакууме в рабочей камере. Это достигается с помощью ADAPT — системы автоматического ввода дифферен- циальной диафрагмы для работы в режиме низкого вакуума. Таким образом, переключение между режимами глубокого и неглубокого вакуума полностью автоматизировано. Вакуумная система SU6600 способна работать в режиме неглубокого вакуума в течение длительного времени, фактически целый день, без снижения эмиссионных характеристик катода и его стабильности.