Сканирующий электронный микроскоп для специальных приложений: допускается максимальный диаметр образца 300 мм, высота 110 мм и вес более 2 кг.
-
Разрешение 2,5 нм (глубокий вакуум) и 4 нм (при 270 Па)
-
Моторизованный столик образца с возможностью перемещения по 5 осям, наклоном образца от -20 до +90 градусов.
-
Можно исследовать образец до 110 мм высотой и до 300 мм диаметром.
-
Новый дизайн камеры образца оптимизирован для одновременной установки и использования EDS, WDS, EBSD и CL детекторов.
-
Полная автоматизация всех функций (автоматическое насыщение катода, авто фокус, автоматическая регулировка луча по осям и другие).
-
Турбомолекулярный насос позволяет сократить время необходимое для замены образца до 90 секунд и делает ненужным водяной контур.
-
Микроскоп устанавливается за 1 день практически без подготовки помещения.