Система использует принцип одновременного поперечного травления с трех направлений для подготовки поверхности для SEM и AFM исследований, а также проведения EDS, WDS, Auger и EBSD анализа.

Держатель образцов позволяет обрабатывать образцы с размерами до 50х50х10мм. Для работы на системе требуется минимальная предварительная механическая подготовка образца. К функциональным особенностям прибора можно отнести 3 Ar ионных пушки, столик, перемещающийся в трех направлениях и встроенный стереомикроскоп.

Особенности

Встроенный стереомикроскоп

Встроенный стереомикроскоп позволяет полностью контролировать процесс травления.

Три ионных пушки

Три ионных пушки, позволяющие проводить одновременное травление с трех направлений, обеспечивают высокое качество поверхности и хорошую повторяемость результатов.

Сенсорная панель управления

Сенсорная панель управления снимает необходимость специального обучения пользователя работе на приборе, все интуитивно и просто.

Охлаждающий стол

Для обработки чувствительных материалов может быть установлен стол, позволяющий охладить держатель образца и маску до -150° C.